Q. 반도체 공정/설비 엔지니어 레시피 최적화

답변 5

• 황

  황금파이프삼성전자

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  일치

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  안녕하세요. 레시피 최적화 과정에서는 생각보다 제약이 많습니다. 공정/설비기술이면 양산 공정을 진행할텐데 애초에 가변이 가능한 파라미터와 불가능한 파라미터가 정해져있습니다. 만약 가변이 불가능한 파라미터를 바꾸고 싶다면 PA, YE, QA와 협의를 거쳐 여러 평가 등을 진행한 후에 바꿀 수 있는데, 보통 가변이 불가능한 파라미터는 공정결과 및 후속 공정/소자에 치명적인 영향을 줄 수 있어서 가변을 못하게 막아둔 것입니다. 따라서 가변이 가능한 파라미터를 위주로 평가 및 최적화를 진행하게 됩니다. 도움되었다면 채택 부탁드립니다.

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• 탁

  탁기사삼성전자

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  3개를 하나의 변수로 놓으면 찾기가 힘드니 최대한 큰 것 부터 추려서 그게 문제가 되면 바로찾는거고 아니면 세부내용으로 가지치듯이 쭉쭉 나아가기됩니다. 에치가 덜 깎이면 먼저 파워를 의심하고 그게 아니면 유량을 보고 그게 아니면 플라즈마 voltage를 보고 이런식으로요~

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• 개

  개미는오늘도뚠뚠삼성전자

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  안녕하세요 멘티님, 파라미터 변수가 다수일 경우, 확인을 위한 파라미터 외 다른 변수들을 고정시키고 확인하는것이 가장 기본입니다.

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• 흰

  흰수염치킨삼성전자

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  일치

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  안녕하세요. 멘토 흰수염치킨입니다. 방법이 딱 정해져있기보단 그때그때 필요에 따라 달라요 실제 업무에선 무조건이란건 없어요 도움이 되었으면 좋겠네요. ^_^

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• P

  PRO액티브현대트랜시스

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  공정 파라미터 최적화 시 초기에는 한 번에 하나의 변수만 바꾸는 방식으로 민감도를 확인하기도 하지만, 실제 공정 개발 단계에서는 여러 변수의 상호작용을 고려해야 하므로 DOE를 많이 활용합니다. 예를 들어 식각 공정에서 가스 유량, RF 파워, 압력 세 가지 파라미터가 있다면 각각을 두 수준으로 설정해 조합 실험을 진행하고, 결과로 식각 속도나 균일도를 비교해 영향도가 큰 조건을 찾습니다. 이후 중요한 변수 중심으로 범위를 좁혀 추가 실험을 하며 최적 공정 조건을 도출합니다~~~

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